資訊中心(xīn)

服(fú)務熱線

服務熱線(xiàn)：027-87876585
027-87876385
移動電話：13317108516
13871149152
傳(chuán)　　真：027-87596225
售後(hòu)服務：13628671834
e-mail：[email protected]
聯系地址(zhǐ)：武漢(hàn)市東湖高(gāo)新技術(shù)開發區(qū)關南(nán)園四路2号(hào)

及(jí)時聯系(xì)我們(men)為您(nín)解(jiě)答(dá)産(chǎn)品(pǐn)相關疑問(wèn)歡迎(yíng)撥打全(quán)國統一(yī)服務熱線(xiàn)

歡迎來電咨(zī)詢

聯系(xì)我們留言(yán)
提供(gòng)更多(duō)資(zī)料全方位的服務(wù)方案(àn)

真空(kōng)度測試儀的研制(zhì)與應用(yòng)

返回打(dǎ)印來源：儀天成電(diàn)力時間：2013/07/30 閱讀：次

       真空(kōng)度測試儀(yí)的主(zhǔ)要作(zuò)用是,根據(jù)磁控放電的方法測量真(zhēn)空泡(pào)内離(lí)子電流,以此量(liàng)測量泡内(nèi)真空度,并(bìng)可用(yòng)于評(píng)定真空泡(pào)使用壽(shòu)命(mìng)。該測試儀既(jì)可(kě)用于(yú)真空(kōng)泡出廠檢測流(liú)水線,也可(kě)單獨(dú)進(jìn)行測(cè)量。
       基本(běn)工作原理(lǐ)
       磁控放電法測(cè)試真(zhēn)空度的基(jī)本原理如下:将(jiāng)真空泡(pào)兩觸頭(tóu)拉開一定的開(kāi)距,并(bìng)置(zhì)于通有(yǒu)大電流的螺線管内,在兩觸頭(tóu)間施加高壓脈(mò)沖,從(cóng)而在(zài)真空(kōng)泡内産(chǎn)生(shēng)高壓電場(chǎng)和(hé)軸(zhóu)向脈(mò)沖(chòng)磁場。這樣,在(zài)脈沖強磁場和(hé)強電(diàn)場(chǎng)的(de)作用下,真(zhēn)空(kōng)泡中的(de)電子(zǐ)作(zuò)螺(luó)旋運動(dòng),并與(yǔ)殘餘氣(qì)體分子發(fā)生碰撞産生電離,生(shēng)成的離(lí)子電流(liú)與殘餘氣體密度即(jí)真(zhēn)空(kōng)度近(jìn)似成(chéng)比(bǐ)例關系(xì)。
       研制的測試儀(yí)可用(yòng)于(yú)測量洩(xiè)漏電流、全(quán)電流和(hé)離(lí)子電(diàn)流3個(gè)電流值(zhí)。
       (1)洩(xiè)漏電流。将真空(kōng)泡動靜觸頭(tóu)拉開一定的間距,并加(jiā)高壓(yā)直(zhí)流脈沖(chòng)電壓,則會(huì)在兩觸頭(tóu)間、觸(chù)頭和(hé)屏蔽罩間産生(shēng)強電(diàn)場(chǎng)。根據場緻發(fā)射理(lǐ)論,陰(yīn)極和(hé)屏蔽罩表面會發射(shè)出電(diàn)子,向陽(yáng)極運動(dòng),形成(chéng)電流(liú),即洩(xiè)漏(lòu)電流。由于電(diàn)子的自(zì)由行程(chéng)遠遠大于(yú)兩觸(chù)頭間距(jù),電子幾乎不(bú)與(yǔ)真(zhēn)空泡内殘餘氣體分(fèn)子發生碰撞,所(suǒ)以洩漏電流不(bú)能正(zhèng)确反應真(zhēn)空泡的真空度(dù)。
       (2)全電流。為(wéi)了使(shǐ)洩漏電流的電(diàn)子能(néng)夠(gòu)與殘餘(yú)氣體(tǐ)分子發生(shēng)碰撞,目前(qián)常用(yòng)的方法是(shì)在軸(zhóu)向上加一(yī)較強的磁場,使得場(chǎng)緻發射的(de)電子在電(diàn)場和磁場的共同作用下(xià)發生(shēng)螺旋(xuán)運動(dòng),這加大(dà)了(le)電子(zǐ)運動(dòng)的(de)行程及與殘(cán)餘氣(qì)體分子發生碰(pèng)撞的(de)概率。當(dāng)電(diàn)子與(yǔ)殘餘(yú)氣體分子(zǐ)發生碰撞後會産生電(diàn)離(lí)現象(xiàng),并形成穩(wěn)定的(de)自持(chí)放(fàng)電,這(zhè)時測量出的(de)電流值為(wéi)全電流值(zhí)。
       (3)離子電流(liú)。全電流的(de)測量值包(bāo)括了(le)陰(yīn)極和屏(píng)蔽罩發射的洩(xiè)漏電流,以(yǐ)及殘餘氣(qì)體被碰撞後産(chǎn)生電離的(de)離子(zǐ)電流。為了(le)準确測量(liàng)真空泡内(nèi)的真空度(dù),還得(dé)從全電流(liú)中減掉(diào)洩漏電(diàn)流值,得到的才(cái)是真(zhēn)正反映真(zhēn)空泡真空(kōng)度的(de)離子(zǐ)電(diàn)流值。真(zhēn)空泡使用壽命(mìng)評定原(yuán)理(lǐ):真空(kōng)泡随(suí)着正常使用時間(jiān)的增長(zhǎng),内部真空度也(yě)呈線性增(zēng)加。通(tōng)過測定兩(liǎng)個(gè)間(jiān)隔時間(jiān)比(bǐ)較恰(qià)當時的真空度,就可确(què)定(dìng)其變(biàn)化率(lǜ),從而确定(dìng)使用過任意(yì)時(shí)間後真空泡真空度的大小。

      主題詞：真空(kōng)度測試儀(yí) 工作原理(lǐ)

上一篇：微(wēi)機型(xíng)繼電(diàn)保(bǎo)護(hù)測試(shì)儀的研制——微處理器系統(tǒng)設計(jì) 下一(yī)篇：氣體繼(jì)電器是(shì)變壓器(qì)的組件

更(gèng)多技(jì)術問題(tí)請緻電(diàn)儀天成電(diàn)力客戶服(fú)務：027-87876585，技術部(bù)專線：027-87876585，在線(xiàn)客(kè)服(fú)：

産品(pǐn)中心(xīn)：http://www.qz-tech.cc/product/
售後(hòu)、保修(xiū)、維(wéi)修服務(wù)中心(xīn)：http://www.qz-tech.cc